La production de semi-conducteurs implique des produits chimiques corrosifs, des boues abrasives et des eaux usées des procédé qui nécessitent une manipulation soignée. Les pompes à membranes maintiennent le fluide séparé du mécanisme d'entraînement, réduisant le risque de fuite et soutenant un transfert plus propre et plus sur dans des applications telle que:

• Meulage et polissage des plaquettes : Les boues utilisées dans ces processus contiennent de la poudre de silicium et des particules abrasives. Les pompes à membrane, avec leurs larges voies d'écoulement et l'absence de composants rotatifs, peuvent faire circuler ces boues efficacement tout en minimisant le risque de colmatage. Elles sont également utilisées pour la collecte des boues usagées et des fluides usés.
• Gravure chimique par voie humide : Des processus tels que la gravure de cristaux et l'amincissement arrière des plaquettes de silicium nécessitent des acides, des bases et des agents de gravure organiques. Les pompes à membrane en PTFE offrent une excellente résistance chimique et sont capables de transférer en toute sécurité des réactifs hautement corrosifs, ce qui les rend adaptées à ces étapes critiques.
• Processus d'amincissement arrière : Les pompes à membrane peuvent gérer le transfert d'acides et de bases, la collecte de boues et le transport d'acides usés pendant les étapes de meulage, de polissage et de gravure de l'amincissement arrière. Cela garantit à la fois la fiabilité opérationnelle et le confinement des fluides dangereux.